샘플의 표면 구역 상에 하전 입자 빔을 자동으로 포커싱하는 방법, 하전 입자 빔 디바이스의 이미지들의 일 세트의 수렴하는 선명도 값들을 계산하는 방법, 및 샘플을 이미징하기 위한 하전 입자 빔 디바이스

• Main Authors: SCHUELER BERNHARD, VIRDI KULPREET SINGH, MUELLER BERNHARD G, TRAUNER ROBERT, KNAUB NIKOLAI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.12.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

샘플의 표면 구역 상에 하전 입자 빔을 자동으로 포커싱하는 방법이 제공된다. 방법은, 대응하는 복수의 포커싱 강도 값들에 대한 복수의 이미지들을 획득하는 단계; 복수의 이미지들에 기반하여 복수의 선명도 값들을 계산하는 단계 -복수의 선명도 값들은 복수의 이미지들에 기반하여 주파수 공간의 합으로서 제공되는 선명도 함수를 이용하여 계산됨-; 및 계산된 선명도 값들에 기반하여 황금비 검색 알고리즘을 이용하여 복수의 포커싱 강도 값들 중의 후속 포커싱 강도 값들을 결정하는 단계를 포함한다. A method of automatically focusing a charged particle beam on a surface region of a sample is provided. The method includes acquiring a plurality of images for a corresponding plurality of focusing strength values; calculating a plurality of sharpness values based on the plurality of images, the plurality of sharpness values are calculated with a sharpness function provided as a sum in a frequency space based on the plurality of images; and determining subsequent focusing strength values of the plurality of focusing strength values with a golden ratio search algorithm based one the calculated sharpness values.