광학 분산의 다차원 모델

• Main Authors: MALKOVA NATALIA, YGARTUA CARLOS L, SUSHCHIK MIKHAIL, HU DAWEI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 27.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

다차원 광학 분산(MDOD, multidimensional optical dispersion) 모델을 기반으로 하여 생산 흐름 초기에 샘플의 광학 측정으로부터 관심 파라미터의 값을 추정하기 위한 방법 및 시스템이 여기에 제시된다. MDOD 모델은 측정 대상 구조를 포함한 재료의 광학 분산을 기본 광학 분산 모델 외부의 파라미터와 관련하여 기술한다. 일부 예에서, 멱법칙 모델(power law model)이 외부 파라미터 및 기본 광학 분산 모델의 대응하는 파라미터 사이의 물리적 관계를 기술한다. 일부 실시형태에서, 하나 이상의 외부 파라미터는 스펙트럼 측정 데이터에 기초하여 리졸빙되는 미지값으로서 취급된다. 일부 실시형태에서, 하나 이상의 외부 파라미터는 주지값으로서 취급되고, 기본 광학 분산 모델 파라미터, 미지값을 갖는 하나 이상의 외부 파라미터, 또는 둘 다의 값은 스펙트럼 측정 데이터 및 하나 이상의 외부 파라미터의 주지값에 기초하여 리졸빙된다. Methods and systems for estimating values of parameters of interest from optical measurements of a sample early in a production flow based on a multidimensional optical dispersion (MDOD) model are presented herein. An MDOD model describes optical dispersion of materials comprising a structure under measurement in terms of parameters external to a base optical dispersion model. In some examples, a power law model describes the physical relationship between the external parameters and a parameter of the base optical dispersion model. In some embodiments, one or more external parameters are treated as unknown values that are resolved based on spectral measurement data. In some embodiments, one or more external parameters are treated as known values, and values of base optical dispersion model parameters, one or more external parameters having unknown values, or both, are resolved based on spectral measurement data and the known values of the one or more external parameters.