전자원 및 하전 입자선 장치

하전 입자선 장치의 전자총에서 대전류의 전자선을 안정적으로 방출시킨다. SE 팁(202)과, SE 팁의 선단보다 후방에 배치된 서프레서(303)와, 저면과 통부로 이루어진 컵 형상의 인출 전극(204)을 갖고, SE 팁과 서프레서가 인출 전극에 내포되며, 서프레서와 인출 전극 사이에, 이들을 유지하는 애자(208)를 가진 전자총을 구비하고, 서프레서와 인출 전극의 원통부 사이에, 원통부(302)를 갖는 도전성 금속의 차폐 전극(301)을 마련하고, 이 차폐 전극에 SE 팁보다 낮은 전압을 인가한다. A large current el...

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Main Authors DOI TAKASHI, MATSUNAGA SOICHIRO, IKEGAMI AKIRA, FUKUTA MASAHIRO, KATAGIRI SOUICHI, KASUYA KEIGO, HONDA KAZUHIRO, TAKEI AKI
Format Patent
LanguageKorean
Published 27.10.2021
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:하전 입자선 장치의 전자총에서 대전류의 전자선을 안정적으로 방출시킨다. SE 팁(202)과, SE 팁의 선단보다 후방에 배치된 서프레서(303)와, 저면과 통부로 이루어진 컵 형상의 인출 전극(204)을 갖고, SE 팁과 서프레서가 인출 전극에 내포되며, 서프레서와 인출 전극 사이에, 이들을 유지하는 애자(208)를 가진 전자총을 구비하고, 서프레서와 인출 전극의 원통부 사이에, 원통부(302)를 갖는 도전성 금속의 차폐 전극(301)을 마련하고, 이 차폐 전극에 SE 팁보다 낮은 전압을 인가한다. A large current electron beam is stably emitted from an electron gun of a charged particle beam device. The electron gun of the charged particle beam device includes: a SE tip 202; a suppressor 303 disposed rearward of a distal end of the SE tip; a cup-shaped extraction electrode 204 including a bottom surface and a cylindrical portion and enclosing the SE tip and the suppressor; and an insulator 208 holding the suppressor and the extraction electrode. A shield electrode 301 of a conductive metal having a cylindrical portion 302 is provided between the suppressor and the cylindrical portion of the extraction electrode. A voltage lower than a voltage of the SE tip is applied to the shield electrode.
Bibliography:Application Number: KR20217030924