세정제 조성물 및 세정 방법

• Main Authors: SHINJO TETSUYA, OGINO HIROSHI, OKUNO TAKAHISA, KARASAWA RYO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.10.2021
• Subjects: ANIMAL AND VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES AND WAXES; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CANDLES; CHEMISTRY; DETERGENT COMPOSITIONS; DETERGENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FATTY ACIDS THEREFROM; METALLURGY; RECOVERY OF GLYCEROL; RESIN SOAPS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOAP OR SOAP-MAKING; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS

본 발명은, 기체(基體) 상에 잔류하는 폴리실록산계 접착제를 제거하기 위해 이용되는 세정제 조성물로서, 불화 테트라(탄화수소)암모늄과, 유기 용매를 포함하고, 상기 유기 용매가, 식 (1)로 표시되는 방향족 화합물 및 식 (2)로 표시되는 락탐 화합물을 포함한다: [화학식 1] JPEGpct00021.jpg3392 (식 중, s는, 벤젠환에 치환되는 치환기 R100의 수를 나타내고, 2 또는 3이며, s개의 R100는, 서로 독립하여, 탄소수 1∼6의 알킬기를 나타내지만, s개의 탄소수 1∼6의 알킬기의 합계 탄소수는 3 이상이고, R101은 탄소수 1∼6의 알킬기를 나타내며, R102는 탄소수 1∼6의 알킬렌기를 나타낸다.). A cleaning agent composition for use in removal of a polysiloxane adhesive remaining on a substrate, the composition containing a tetrahydrocarbylammonium fluoride and an organic solvent, wherein the organic solvent contains an aromatic compound represented by formula (1) and a lactam compound represented by formula (2).(in formulas (1) and (2), s represents the number of substituents R100s of the benzene ring and is 2 or 3; s groups of R100s each independently represent a C1 to C6 alkyl group; the total number of carbon atoms in s groups of C1 to C6 alkyl groups is 3 or greater; R101 represents a C1 to C6 alkyl group; and R102 represents a C1 to C6 alkylene group.)