온도 튜닝가능 다중-구역 정전 척
본원에서 설명되는 구현들은, 기판 지지 조립체의 온도 프로파일의 이산적 튜닝을 가능하게 하는, 기판 지지 조립체의 온도를 교정하기 위한 방법을 제공한다. 일 실시예에서, 시스템은, 메모리 - 메모리는 기판 지지 조립체에 대해 동작을 수행하도록 구성된 애플리케이션 프로그램을 포함함 -, 및 기판 지지 조립체에 배치된 제어 보드를 포함하며, 제어 보드는, 무선 인터페이스를 갖는 프로세서, PWM(pulse width modification) 가열기 제어기 - 프로세서는 동작 시에 메모리로부터 애플리케이션 프로그램을 판독하고 그리고 애플...
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Format | Patent |
Language | Korean |
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12.10.2021
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Abstract | 본원에서 설명되는 구현들은, 기판 지지 조립체의 온도 프로파일의 이산적 튜닝을 가능하게 하는, 기판 지지 조립체의 온도를 교정하기 위한 방법을 제공한다. 일 실시예에서, 시스템은, 메모리 - 메모리는 기판 지지 조립체에 대해 동작을 수행하도록 구성된 애플리케이션 프로그램을 포함함 -, 및 기판 지지 조립체에 배치된 제어 보드를 포함하며, 제어 보드는, 무선 인터페이스를 갖는 프로세서, PWM(pulse width modification) 가열기 제어기 - 프로세서는 동작 시에 메모리로부터 애플리케이션 프로그램을 판독하고 그리고 애플리케이션 프로그램에 액세스하기 위해 메모리와 연결됨 -, 및 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 커플링된 가열 엘리먼트를 포함하며, 가열 엘리먼트는 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 의해 개별적으로 튜닝가능한 복수의 공간적 튜닝가능 가열기들을 포함한다.
Implementations described herein provide a method for calibrating a temperature of a substrate support assembly which enables discrete tuning of the temperature profile of a substrate support assembly. In one embodiment, a system, comprises a memory, wherein the memory includes an application program configured to perform an operation on a substrate support assembly, a control board disposed in a substrate support assembly, wherein the control board comprises a processor having an wireless interface, a pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the processor is connected with the memory to read and access the application program from the memory when in operation, and a heating element coupled to the pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the heating element comprises a plurality of spatially tunable heaters that are individually tunable by the pulse width modification (PWM) heater controller. |
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AbstractList | 본원에서 설명되는 구현들은, 기판 지지 조립체의 온도 프로파일의 이산적 튜닝을 가능하게 하는, 기판 지지 조립체의 온도를 교정하기 위한 방법을 제공한다. 일 실시예에서, 시스템은, 메모리 - 메모리는 기판 지지 조립체에 대해 동작을 수행하도록 구성된 애플리케이션 프로그램을 포함함 -, 및 기판 지지 조립체에 배치된 제어 보드를 포함하며, 제어 보드는, 무선 인터페이스를 갖는 프로세서, PWM(pulse width modification) 가열기 제어기 - 프로세서는 동작 시에 메모리로부터 애플리케이션 프로그램을 판독하고 그리고 애플리케이션 프로그램에 액세스하기 위해 메모리와 연결됨 -, 및 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 커플링된 가열 엘리먼트를 포함하며, 가열 엘리먼트는 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 의해 개별적으로 튜닝가능한 복수의 공간적 튜닝가능 가열기들을 포함한다.
Implementations described herein provide a method for calibrating a temperature of a substrate support assembly which enables discrete tuning of the temperature profile of a substrate support assembly. In one embodiment, a system, comprises a memory, wherein the memory includes an application program configured to perform an operation on a substrate support assembly, a control board disposed in a substrate support assembly, wherein the control board comprises a processor having an wireless interface, a pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the processor is connected with the memory to read and access the application program from the memory when in operation, and a heating element coupled to the pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the heating element comprises a plurality of spatially tunable heaters that are individually tunable by the pulse width modification (PWM) heater controller. |
Author | MYLES ANDREW GUO ZHIQIANG CRIMINALE PHILLIP |
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SubjectTerms | BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING ELECTRIC HEATING ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES |
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