온도 튜닝가능 다중-구역 정전 척

• Main Authors: CRIMINALE PHILLIP, MYLES ANDREW, GUO ZHIQIANG
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 12.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES

본원에서 설명되는 구현들은, 기판 지지 조립체의 온도 프로파일의 이산적 튜닝을 가능하게 하는, 기판 지지 조립체의 온도를 교정하기 위한 방법을 제공한다. 일 실시예에서, 시스템은, 메모리 - 메모리는 기판 지지 조립체에 대해 동작을 수행하도록 구성된 애플리케이션 프로그램을 포함함 -, 및 기판 지지 조립체에 배치된 제어 보드를 포함하며, 제어 보드는, 무선 인터페이스를 갖는 프로세서, PWM(pulse width modification) 가열기 제어기 - 프로세서는 동작 시에 메모리로부터 애플리케이션 프로그램을 판독하고 그리고 애플리케이션 프로그램에 액세스하기 위해 메모리와 연결됨 -, 및 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 커플링된 가열 엘리먼트를 포함하며, 가열 엘리먼트는 PWM(pulse width modification) 가열기 제어기에 의해 개별적으로 튜닝가능한 복수의 공간적 튜닝가능 가열기들을 포함한다. Implementations described herein provide a method for calibrating a temperature of a substrate support assembly which enables discrete tuning of the temperature profile of a substrate support assembly. In one embodiment, a system, comprises a memory, wherein the memory includes an application program configured to perform an operation on a substrate support assembly, a control board disposed in a substrate support assembly, wherein the control board comprises a processor having an wireless interface, a pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the processor is connected with the memory to read and access the application program from the memory when in operation, and a heating element coupled to the pulse width modification (PWM) heater controller, wherein the heating element comprises a plurality of spatially tunable heaters that are individually tunable by the pulse width modification (PWM) heater controller.