광섬유를 사용한 진공 챔버로의 광의 전달

광섬유를 이용한 레이저 강화 전압 콘트라스트를 위한 시스템이 제공된다. 이 시스템은 웨이퍼를 고정하는 스테이지를 갖는 진공 챔버를 포함한다. 진공 챔버 외부의 레이저 광원은 광을 광섬유로 지향시킨다. 광섬유는 레이저 광원에서 나오는 모든 파장의 광을 진공 챔버의 벽을 통해 진공 챔버 내에 전달한다. A system for laser enhanced voltage contrast using an optical fiber is provided. The system includes a vacuum chamber with a stage t...

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Main Authors PETTIBONE DONALD, BRUTSCH MARTIN, SAERCHEN EMANUEL, CHEN LI MIN, FLORENDO OSCAR G
Format Patent
LanguageKorean
Published 05.10.2021
Subjects
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
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Summary:광섬유를 이용한 레이저 강화 전압 콘트라스트를 위한 시스템이 제공된다. 이 시스템은 웨이퍼를 고정하는 스테이지를 갖는 진공 챔버를 포함한다. 진공 챔버 외부의 레이저 광원은 광을 광섬유로 지향시킨다. 광섬유는 레이저 광원에서 나오는 모든 파장의 광을 진공 챔버의 벽을 통해 진공 챔버 내에 전달한다. A system for laser enhanced voltage contrast using an optical fiber is provided. The system includes a vacuum chamber with a stage that secures a wafer. A laser light source outside the vacuum chamber directs light to an optical fiber. The optical fiber transmits all wavelengths of light from the laser light source into the vacuum chamber through a wall of the vacuum chamber.
Bibliography:Application Number: KR20217029660