MEMS COMPOSITE SPRING STRUCTURE TO REINFORCE MECHANICAL ROBUSTNESS OF A MEMS DEVICE

• Main Authors: CHANG KUEI SUNG, MAO WEI JHIH, TSAI SHANG YING
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.10.2021
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING

Various embodiments of the present invention relate to a microelectromechanical system (MEMS) structure including a composite spring. A first substrate is placed under a second substrate. A third substrate is placed on the second substrate. The first substrate, the second substrate, and the third substrate are at least partly regulating a cavity. The second includes a mass body movable in a cavity and between the first substrate and the third substrate. The composite spring is extended from the surrounding area of the second substrate to the movable mass body. The composite spring is configured to make the mass body move in the cavity. The composite spring includes: a first spring layer including a first crystal orientation; and a second spring layer including a second crystal orientation which is different from the first crystal orientation. 본 개시의 다양한 실시예들은 복합 스프링을 포함하는 마이크로 전자 기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS) 구조물에 관한 것이다. 제 1 기판은 제 2 기판 아래에 있다. 제 3 기판은 제 2 기판 위에 놓인다. 제 1 기판, 제 2 기판 및 제 3 기판은 공동을 적어도 부분적으로 규정한다. 제 2 기판은 공동 내에 그리고 제 1 기판과 제 3 기판 사이에 이동 가능한 질량체를 포함한다. 복합 스프링은 제 2 기판의 주변 영역으로부터 이동 가능한 질량체까지 연장된다. 복합 스프링은 공동 내에서 이동 가능한 질량체를 부유시키도록 구성된다. 복합 스프링은 제 1 결정 배향을 포함하는 제 1 스프링 층 및 제 1 결정 배향과 상이한 제 2 결정 배향을 포함하는 제 2 스프링 층을 포함한다.