공간적으로 변화하는 편광 회전자와 편광기를 사용한 민감성 입자 검출

• Main Authors: LIU XUEFENG, FIELDEN JOHN, LEONG JENN KUEN, KAVALDJIEV DANIEL
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.10.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

암시야 검사 시스템은 조명 빔을 생성하는 조명 소스, 조명 빔을 샘플로 조명 방향을 따라 축외 각도로 지향시키도록 구성되는 조명 광학계, 암시야 모드에서 조명 빔에 응답하여 샘플로부터 산란된 광을 수집하는 수집 광학계, 하나 이상의 수집 광학계의 동공 평면에 위치한 편광 회전자 - 여기서 편광 회전자는 샘플의 표면으로부터 산란된 광을 선택된 편광 각도로 회전시키도록 선택된 공간적으로 변화하는 편광 회전 각도를 제공함 -, 선택된 편광 각도를 따라 편광된 광을 거부하도록 정렬되어, 샘플의 표면으로부터 산란된 광을 거부하는 편광기, 및...