공간적으로 변화하는 편광 회전자와 편광기를 사용한 민감성 입자 검출

• Main Authors: LIU XUEFENG, FIELDEN JOHN, LEONG JENN KUEN, KAVALDJIEV DANIEL
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.10.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

암시야 검사 시스템은 조명 빔을 생성하는 조명 소스, 조명 빔을 샘플로 조명 방향을 따라 축외 각도로 지향시키도록 구성되는 조명 광학계, 암시야 모드에서 조명 빔에 응답하여 샘플로부터 산란된 광을 수집하는 수집 광학계, 하나 이상의 수집 광학계의 동공 평면에 위치한 편광 회전자 - 여기서 편광 회전자는 샘플의 표면으로부터 산란된 광을 선택된 편광 각도로 회전시키도록 선택된 공간적으로 변화하는 편광 회전 각도를 제공함 -, 선택된 편광 각도를 따라 편광된 광을 거부하도록 정렬되어, 샘플의 표면으로부터 산란된 광을 거부하는 편광기, 및 편광기를 통과한 샘플로부터의 산란된 광에 기반하여 샘플의 암시야 이미지를 생성하는 검출기를 포함할 수 있다. A system may include illumination optics to direct an illumination beam to a sample at an off-axis angle, collection optics to collect scattered light from the sample, and a phase mask located at a first pupil plane to provide different phase shifts for light in two or more pupil regions of a collection area to reshape a point spread function of light scattered from one or more particles on a surface of the sample. The system may further include a polarization rotator located at a second pupil plane, where the polarization rotator provides a spatially-varying polarization rotation angle selected to rotate light scattered from the surface of the sample to a selected polarization angle, a polarizer to reject light polarized along the selected polarization angle, and a detector to generate a dark-field image of the sample based on light passed by the polarizer.