LOAD PORT AND CONTROL METHOD

• Main Author: MATSUSHITA YOICHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The purpose of the present invention is to prevent the leakage of gas out of a container and to perform purging in a short time when performing purging by supplying gas into the container. The present invention relates to a load port comprising: a dock plate; a port plate having an opening part to enable a substrate to come in and out; and a moving tool for moving the dock plate between a docking position and an undocking position. Included are: a gas supply nozzle unit installed on the dock plate to supply gas into the container; and a pressing means installed above the dock plate to press down the container put on the dock plate. The pressing means includes: a contact member being in contact with the container put on the dock plate; and a driving tool for moving the contact member between a first position spaced apart from the container and a second position in contact with the container. 용기 내에 기체를 공급하여 퍼지를 행할 때에, 용기 외로의 기체의 누설을 방지하고, 단시간에 퍼지를 행하는 것을 과제로 한다. 도크 플레이트와, 기판의 출입이 가능한 개구부를 갖는 포트 플레이트와, 상기 도크 플레이트를, 도크 위치와 언도크 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비한 로드 포트로서, 상기 도크 플레이트에 설치되어, 용기의 내부에 기체를 공급하는 기체 공급 노즐 유닛과, 상기 도크 플레이트의 상방에 설치되어, 상기 도크 플레이트에 놓이는 상기 용기를 하방으로 눌러붙이는 누름 수단을 구비하고, 상기 누름 수단은, 상기 도크 플레이트에 놓이는 상기 용기에 접촉되는 접촉 부재와, 상기 접촉 부재를, 상기 용기로부터 이격된 제1 위치와 상기 용기에 접촉하는 제2 위치 사이에서 이동시키는 구동 기구를 포함한다.