극자외선 광원 내의 타겟의 이동 특성을 결정하는 방법

• Main Author: RAFAC ROBERT JAY
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 30.09.2021
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; X-RAY TECHNIQUE

본 장치는 현재 타겟이 타겟 공간에 들어가기 전에 궤적(TR)을 따라 이동하는 현재 타겟(110c)과 진단적으로 상호 작용하도록 구성된 진단 시스템; 제1 광을 검출하도록 구성된 제1 검출 장치(120); 제2 광을 검출하도록 구성된 제2 검출 장치(130); 및 제1 및 제2 검출 장치와 통신 상태에 있는 제어 시스템(150)을 포함한다. 제1 광은 현재 타겟과 진단 시스템 간의 상호 작용으로부터 생성된 광(140) 및 이전 타겟에 의해 생성된 플라즈마로부터 방출된 광(142)을 포함한다. 제2 광은 이전 타겟에 의해 생성된 플라즈마로부터 방출된 광(142)을 포함한다. 제어 시스템(150)은 제1 및 제2 검출 장치의 각각의 출력으로부터 생성된 제1 및 제2 신호를 기반으로 분석 신호를 생성하도록; 그리고 생성된 분석 신호를 기반으로 현재 타겟의 특성을 추정하도록 구성된다. An apparatus includes: a diagnostic system configured to diagnostically interact with a current target (110c) traveling along a trajectory (TR) and before the current target enters a target space; a first detection apparatus (120) configured to detect first light; a second detection apparatus (130) configured to detect second light; and a control system (150) in communication with the first and second detection apparatuses. The first light includes: light (140) produced from an interaction between the current target and the diagnostic system, and light (142) emitted from a plasma produced by a previous target. The second light includes the light (142) emitted from the plasma produced by the previous target. The control system (150) is configured to: produce an analysis signal based on first and second signals produced from respective outputs of the first and second detection apparatuses; and estimate a property of the current target based on the produced analysis signal.