PARTICLE BEAM APPARATUS AND COMPOSITE BEAM APPARATUS

• Main Authors: NAGAHARA KOJI, MADOKORO YUICHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.09.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An objective is to provide a particle beam apparatus capable of selectively and properly switching a charged particle beam and a neutral particle beam. To achieve the objective, a particle beam body tube (19) includes an ion source (41), a condenser lens (52), a charge exchange grid (55), and an object lens (56). The ion source (41) generates ions. The condenser lens (52) switches an ion beam and a neutral beam as a particle beam radiated to a sample (S) by switching the focusing of the ion beam. The charge exchange grid (55) converts at least some ion beams into neutral particle beams by neutralizing the same. The object lens (56) is placed on a downstream side of the charge exchange grid (55). The object lens (56), when the neutral particle beams are radiated to the sample (S) as particle beams, reduces the ion beams heading for the sample (S). [과제] 하전 입자 빔과 중성 입자 빔을 선택적으로 적정하게 전환할 수 있는 입자 빔 장치를 제공한다. [해결수단] 입자 빔 경통(19)은, 이온원(41)과, 콘덴서 렌즈(52)와, 전하 교환 그리드(55)와, 대물렌즈(56)를 구비한다. 이온원(41)은, 이온을 발생시킨다. 콘덴서 렌즈(52)는, 이온 빔의 집속을 전환함으로써, 시료(S)에 조사되는 입자 빔으로서 이온 빔과 중성의 빔을 전환한다. 전하 교환 그리드(55)는, 이온 빔 중 적어도 일부를 중성화함으로써 중성 입자 빔으로 변환한다. 대물렌즈(56)는, 전하 교환 그리드(55)의 하류측에 배치되어 있다. 대물렌즈(56)는, 입자 빔으로서 중성 입자 빔이 시료(S)에 조사되는 경우, 시료(S)를 향하는 이온 빔을 저감한다.