METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY PANEL AND DISPLAY PANEL MANUFACTURED BY THE SAME

• Main Authors: LEE JUHYUN, BAEK GYUNGMIN, PARK HONGSICK, SHIN HYUNEOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.07.2021
• Subjects: ELECTRICITY

One embodiment provides a manufacturing method of a display panel which comprises a step of forming a circuit layer and a step of forming a light emitting element layer. The step of forming the circuit layer comprises the following steps of: sequentially providing a preliminary metal layer, a preliminary oxide film, and a preliminary capping layer; cleaning a preliminary electrode layer; forming a photoresist pattern on the preliminary electrode layer; etching the preliminary electrode layer; and removing the photoresist pattern. In the etching step, a removal rate ER_1 of the preliminary oxide film and a removal rate ER_2 of the preliminary capping layer satisfy a relationship of equation 1 below, thereby maintaining low reflection characteristics. Equation 1 is 1 <= ER_2/ER_1 <= 3. 일 실시예는 회로층을 형성하는 단계 및 발광 소자층을 형성하는 단계를 포함하고, 회로층을 형성하는 단계는 예비 금속층, 예비 산화막, 및 예비 캡핑층을 순차적으로 제공하는 단계, 예비 전극층을 세정하는 단계, 예비 전극층에 감광막 패턴을 형성하는 단계, 예비 전극층을 식각하는 단계, 및 감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함하고, 식각하는 단계에서 예비 산화막의 제거 속도 ER1 및 예비 캡핑층의 제거 속도 ER2는 하기 식 1의 관계를 만족하여, 저반사 특성이 유지되는 표시 패널의 제조 방법을 제공할 수 있다. [식 1] 1 ≤ ER2/ER1 ≤ 3