SYSTEMS FOR SELECTIVELY FEEDING CHUNK POLYSILICON OR GRANULAR POLYSILICON IN A CRYSTAL GROWTH CHAMBER

• Main Authors: CHOI WON JIN, PARK SEONG SU, JI JUN HWAN, YUN SEOK MIN, JUNG UISUNG, KIM SUNG JIN, LEE YOUNG JUNG, KOO TAE SU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.07.2021
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; METALLURGY; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

피드 어셈블리는 용융물로부터 결정 잉곳을 성장시키기 위한 성장 챔버에 폴리실리콘을 공급한다. 예시적 시스템은, 입상 트레이 및 청크 트레이 중 하나를 수용하기 위한 지지 레일들을 갖는 하우징, 및 입상 트레이 또는 청크 트레이 중 하나를 선택적으로 피딩하기 위해 지지 레일들 위에 배치되는 피드 재료 저장조를 포함한다. 밸브 메커니즘 및 펄스 진동기가 또한 개시된다. A feed assembly supplies polysilicon to a growth chamber for growing a crystal ingot from a melt. An example system includes a housing having support rails for receiving one of a granular tray and a chunk tray and a feed material reservoir positioned above the support rails to selectively feed one of either the granular tray or the chunk tray. A valve mechanism and pulse vibrator are also disclosed.