가스 노즐, 가스 노즐의 제조 방법, 및 플라즈마 처리 장치

• Main Authors: SAHASHI TOMOYA, NOGUCHI YUKIO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 25.06.2021
• Subjects: APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; ARTIFICIAL STONE; ATOMISING APPARATUS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; LIME, MAGNESIA; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; METALLURGY; NOZZLES; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; SPRAYING APPARATUS; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING; TREATMENT OF NATURAL STONE

본 개시의 가스 노즐은, 가스를 안내하는 관 형상의 공급 구멍과, 상기 공급 구멍에 접속하는 분사 구멍을 구비하고, 상기 분사 구멍으로부터 상기 가스를 분사하는, 희토류 원소의 산화물, 불화물 또는 산불화물 또는 이트륨알루미늄 복합 산화물을 주성분으로 하는 세라믹스 또는 단결정으로 이루어지는 가스 노즐로서, 상기 공급 구멍을 형성하는 내주면의 산술 평균 거칠기(Ra)는 상기 가스의 유입측보다 유출측의 쪽이 작다. A gas nozzle according to the present disclosure includes a supply hole having a tubular shape and configured to guide a gas and an injection hole connecting to the supply hole. The gas nozzle configured to inject the gas from the injection hole is made from ceramics or single crystal including an oxide, a fluoride, or an oxyfluoride of a rare earth element or an yttrium aluminum composite oxide as a primary component. An arithmetic mean roughness Ra of an inner circumferential surface forming the supply hole is smaller on an outflow side than on an inflow side of the gas.