고체 촬상 장치 및 전자 기기
인접하는 광전변환부 사이에 홈부를 마련하고, 이 홈부의 측벽면 및 저면을 제1의 고정 전하막으로 피복함과 함께, 이 홈부의 개구단을 제2의 고정 전하막에 의해 홈부의 내부에 공극을 남겨서 폐색하도록 했다. Groove portions are provided between adjacent photoelectric conversion portions, and sidewall surfaces and bottom surfaces of the groove portions are covered with a first fixed charge f...
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Format | Patent |
Language | Korean |
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23.06.2021
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Summary: | 인접하는 광전변환부 사이에 홈부를 마련하고, 이 홈부의 측벽면 및 저면을 제1의 고정 전하막으로 피복함과 함께, 이 홈부의 개구단을 제2의 고정 전하막에 의해 홈부의 내부에 공극을 남겨서 폐색하도록 했다.
Groove portions are provided between adjacent photoelectric conversion portions, and sidewall surfaces and bottom surfaces of the groove portions are covered with a first fixed charge film, and open ends of the groove portions are closed by a second fixed charge film with voids inside of the groove portions. |
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Bibliography: | Application Number: KR20217007507 |