SUBSTANCE DETECTING ELEMENT

지지 기판(2)에는, 관통 구멍(3)이 마련되어 있다. 판 형상의 빔(4(4A, 4B))은, 관통 구멍(3)의 가장자리로부터 대향하는 가장자리로 향해 연장되어 관통 구멍(3)의 일부를 막고, 검출 대상의 구성 물질이 부착되는 물질 흡착막을 지지하고, 구성 물질이 물질 흡착막에 부착됨으로써 진동 주파수가 변화하는, 압전 소자를 갖는다. 구동 전극(16)은, 압전 소자에 전압을 인가하여 빔(4)을 진동 변형시킨다. 검출 전극(17)은, 빔(4)의 진동 주파수에 관한 정보를 검출한다. A through-hole (3) is dispose...

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Main Authors OGATA KENJI, KUROGI SHOGO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 02.06.2021
Subjects
ELECTRICITY
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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Summary:지지 기판(2)에는, 관통 구멍(3)이 마련되어 있다. 판 형상의 빔(4(4A, 4B))은, 관통 구멍(3)의 가장자리로부터 대향하는 가장자리로 향해 연장되어 관통 구멍(3)의 일부를 막고, 검출 대상의 구성 물질이 부착되는 물질 흡착막을 지지하고, 구성 물질이 물질 흡착막에 부착됨으로써 진동 주파수가 변화하는, 압전 소자를 갖는다. 구동 전극(16)은, 압전 소자에 전압을 인가하여 빔(4)을 진동 변형시킨다. 검출 전극(17)은, 빔(4)의 진동 주파수에 관한 정보를 검출한다. A through-hole (3) is disposed in a supporting substrate (2). Plate-shaped beams (4 (4A, 4B)) each includes a piezoelectric element, extends from an edge of the through-hole (3) toward an opposite edge to close a part of the through-hole (3), supports a substance adsorption film to which a constitutive substance to be detected adheres, and has a vibration frequency that is varied due to adhesion of the constitutive substance to the substance adsorption film. Drive electrodes (16) apply a voltage to the piezoelectric element to vibrate and deform the beams (4). Detection electrodes (17) detect information about the vibration frequencies of the beams (4).
Bibliography:Application Number: KR20217016107