오존수 전달 시스템 및 사용 방법

• Main Authors: SEIWERT HEINRICH, BRAMMER ULRICH, LE TIEC CHRISTIANE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.04.2021
• Subjects: CHEMISTRY; METALLURGY; TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE

본 출원은 초순수를 제공하도록 구성된 적어도 하나의 초순수 공급원과 연통하는 적어도 하나의 접촉 디바이스, 상기 초순수 공급원에 결합된 적어도 하나의 초순수 도관, 상기 초순수 도관을 통해 상기 접촉 디바이스 및 상기 초순수 공급원과 연통하는 적어도 하나의 용액, 상기 초순수 공급원, 상기 초순수 도관 및 상기 용액 도관 중 적어도 하나와 연통하는 적어도 하나의 가스를 함유하는 하나 이상의 가스 공급원, 상기 가스 공급원 및 상기 접촉 디바이스와 연통하는 적어도 하나의 혼합 가스 도관, 및 상기 접촉 디바이스와 연통할 수 있는 적어도 하나의 오존수 출력 도관을 포함하는 오존수 전달 시스템을 개시한다. The present application discloses a ozonated water delivery system which includes at least one contacting device in communication with at least one ultrapure water source configured to provide ultrapure water, at least one ultrapure water conduit coupled to the ultrapure water source, at least one solution in communication with the contacting device and the ultrapure water source via the ultrapure water conduit, one or more gas sources containing at least one gas in communication with at least one of the ultrapure water source, the ultrapure water conduit, and the solution conduit, at least one mixed gas conduit in communication with the at gas source and the contacting device and configured to provide at least one mixed gas to the contacting device, and at least one ozonated water output conduit may be in communication with the contacting device.