고 종횡비 구조체들의 정지 마찰 (stiction) 을 방지하고 그리고/또는 고 종횡비 구조체들을 보수하기 위한 증기 전달 헤드

• Main Authors: MUI DAVID, KLEMM MICHAEL, BERNEY BUTCH, BANDARAPU BHASKAR, HOHENWARTER KARL HEINZ, SI HONGBO, LAVDOVSKY NATHAN, JOHNSON ROBERT, LOIDL BERNHARD, PUTZI CHRISTIAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 05.04.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

기판의 습식 처리를 위한 증기 전달 헤드가 상부 표면, 하부 표면, 상부 플레넘 및 하부 플레넘을 포함하는 바디를 포함한다. 제 1 보어가 바디의 상부 표면 상에 배치되고, 가열된 유체를 공급하도록 상부 플레넘에 유체로 연결된다. 제 2 보어가 바디의 상부 표면 상에 배치되고, 가열된 유체를 제거하도록 상부 플레넘에 연결된다. 제 3 보어가 바디의 상부 표면 상에 배치되고, 가스 혼합물을 수용하도록 하부 플레넘에 연결된다. 바디의 하부 표면을 통과하는 복수의 쓰루 홀들이 하부 플레넘과 유체로 연통한다. A vapor delivery head for wet treatment of a substrate includes a body including an upper surface, a lower surface, an upper plenum and a lower plenum. A first bore is arranged on the upper surface of the body and fluidly connected to the upper plenum to supply heated fluid. A second bore is arranged on the upper surface of the body and connected to the upper plenum to remove heated fluid. A third bore is arranged on the upper surface of the body and connected to the lower plenum to receive a gas mixture. A plurality of through holes through the lower surface of the body are in fluid communication with the lower plenum.