FOCUSED ION BEAM APPARATUS

• Main Authors: MOCHIZUKI TOSHIHIRO, ISHII HARUYUKI, UEMOTO ATSUSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 02.04.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Provided is a focused ion beam device which can grasp at least a direction in which a focused ion beam strikes a sample table for fixing a sample, before actual irradiation with the focused ion beam. The focused ion beam device (100) comprises: a focused ion beam lens barrel (20) for irradiating a sample (200) with a focused ion beam (20A); a sample table (51) on which the sample is placed; and a sample stage (50) on which the sample table is placed and which is movable at least in a horizontal direction and a height direction. The focused ion beam device (100) further comprises: a memory part (6M) for memorizing in advance three-dimensional data concerning the sample table and an irradiation axis of the focused ion beam so that the three-dimensional data associated with a stage coordinate of the sample stage is memorized in advance; a display part (7); and a display control part (6A) for, on the basis of the three-dimensional data concerning the sample table and the irradiation axis of the focused ion beam, displaying, on the display part, a positional relationship between a virtual sample table (51v) and a virtual irradiation axis (20Av) of the focused ion beam at the time when the sample stage is operated and the sample table is moved to a predetermined position. 실제로 집속 이온 빔을 조사하기 전에, 적어도 시료를 고정하는 시료대에 어떠한 방향으로 빔이 비춰지는지를 파악할 수 있는 집속 이온 빔 장치를 제공한다. 시료(200)에 집속 이온 빔(20A)을 조사하기 위한 집속 이온 빔 경통(20)과, 시료가 재치되는 시료대(51)와, 시료대가 재치되며, 적어도 수평 방향 및 높이 방향으로 이동 가능한 시료 스테이지(50)를 가지는 집속 이온 빔 장치(100)에 있어서, 시료대 및 집속 이온 빔의 조사축의 3차원 데이터이며, 시료 스테이지의 스테이지 좌표에 관련 지어진 3차원 데이터를 미리 기억하는 기억부(6M)와, 표시부(7)와, 시료대 및 집속 이온 빔의 조사축의 3차원 데이터에 의거하여, 시료 스테이지를 동작시켜 시료대를 소정의 위치로 이동시켰을 때의 가상적인 시료대(51v)와 집속 이온 빔의 조사축(20Av)의 위치 관계를, 표시부로 하여금 표시하게 하는 표시 제어부(6A)를 더 가진다.