제팅 조립체에 사용되는 마이크로-밸브용 전극 구조체

• Main Authors: WHITLOCK JOHN, FLEGO STEVEN E, LEIGHTON GLENN J.T, HALUZAK CHARLES C, MILLER ERIC R, BUSKIRK WILLIAM A, GILSON CHARLES
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 18.02.2021
• Subjects: ACTUATING-FLOATS; BLASTING; COCKS; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING; ELECTRICITY; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LIGHTING; LINING MACHINES; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; PRINTING; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; STAMPS; TAPS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; TRANSPORTING; TYPEWRITERS; VALVES; WEAPONS

마이크로-밸브는 오리피스가 포함된 오리피스 플레이트를 포함한다. 마이크로-밸브는 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 작동 빔을 추가로 포함한다. 작동 빔은 베이스 층과 베이스 층 상에 배치된 압전 재료 층, 하단 전극 층, 및 상단 전극 층을 또한 포함한다. 작동 빔의 전기 연결부에서, 압전 재료 층은 제1 비아, 제1 비아 내에 배치된 상단 전극 층의 일부, 및 제1 비아의 아래에 배치된 하단 전극의 일부를 포함한다. 작동 빔은, 전기 연결부로부터 연장된 베이스부, 및 베이스부로부터 연장된 캔틸레버부를 포함한다. 캔틸레버부는 이동식으로 하단 전극 층과 상단 전극 층 간의 차동 전기 신호의 인가에 응답하여 마이크로-밸브를 개방하거나 폐쇄할 수 있다. A micro-valve includes an orifice plate including an orifice. The micro-valve further includes an actuating beam having a first end and a second end. The actuating beam also includes a base layer and a layer of piezoelectric material disposed on the base layer, a bottom electrode layer, and a top electrode layer. At an electrical connection portion of the actuating beam, the layer of piezoelectric material includes a first via, and a portion of the top electrode layer disposed within the first via, and a portion of the bottom electrode disposed beneath the first via. The actuating beam includes a base portion extending from the electrical connection portion and a cantilevered portion extending from the base portion. The cantilevered portion is movable in response to application of a differential electrical signal between the bottom electrode layer and the top electrode layer to one of open or close the micro-valve.