CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

• Main Authors: MIWA TAKAFUMI, NAKAMURA YOHEI, KIMIZUKA HEITA, FUKUDA MUNEYUKI, TSUNO NATSUKI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 17.02.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An objective of the present invention is to perform estimation of electrical characteristics considering an interaction between a plurality of devices in a short period of time. To achieve the objective, a charged particle beam apparatus comprises: a database (42) to store an optical condition of a charged particle beam emitted to a sample (23) and a device model for calculation for estimating a circuit of the sample (23); a charged particle beam optical system to control the charged particle beam emitted to the sample (23) in accordance with the optical condition; a detector (25) to detect a secondary battery released from the sample (23) by the emission of the charged particle beam, and output a detection signal in accordance with the secondary battery; and an operator to generate a netlist for operations in accordance with the device model for calculation, estimate a first emission result when the charged particle beam is emitted to the sample (23) in accordance with the optical condition and the netlist for operations, and compare the first emission result and a second emission result when the charged particle beam is emitted to the sample (23) in accordance with the optical condition. 본 발명은, 복수 디바이스간의 상호작용을 고려한 전기 특성의 추정을 단시간에 행하는 것을 과제로 한다. 이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 하전 입자선 장치는, 시료(23)의 회로를 추정하기 위한 계산용 디바이스 모델 및 시료(23)에 조사되는 하전 입자선의 광학 조건을 저장하는 데이터베이스(42)와, 광학 조건에 의거하여 시료(23)에 조사하는 하전 입자선을 제어하는 하전 입자선 광학계와, 하전 입자선의 조사에 의해 시료(23)로부터 방출되는 이차 전자를 검출하고, 이차 전자에 의거하는 검출 신호를 출력하는 검출기(25)와, 계산용 디바이스 모델에 의거하여 연산용 넷리스트를 생성하고, 연산용 넷리스트 및 광학 조건에 의거하여 하전 입자선이 시료(23)에 조사되었을 때의 제1 조사 결과를 추정하고, 제1 조사 결과와 광학 조건에 의거하여 시료(23)에 하전 입자선이 조사되었을 때의 제2 조사 결과를 비교하는 연산기를 구비한다.