Apparatus for storing mask

• Main Authors: KIM HONG JIN, LEE SANG KYUNG, PARK GI NAM, PARK CHUL JUN, CHO KYU BUM, KIM JONG SAM, KIM SANG MIN, AHN YONG JUN, JEON TAI JO, LEE JUN YONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 10.02.2021
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

According to an embodiment of the present invention, a mask storage device comprises: a device body having a first area in which a plurality of mask accommodating containers for accommodating a mask are disposed, and a second area disposed around the first area; a gas supply pipe partially disposed at the outside of the device body; a fan disposed in the first area to flow gas from the second area to the first area; a filter disposed on at least one end of front and rear ends of the fan on a flow path of the gas; a heat exchanger disposed in the second area to exchange heat with the flowing gas; a Peltier element installed in the gas supply pipe disposed at the outside of the device body; a first sensor installed in the gas supply pipe to be disposed at a front end of the Peltier element on the flow path of the gas; a second sensor installed in the second area of the device body to be disposed below the heat exchanger; and a control unit connected to the first and second sensors, and the Peltier element. Accordingly, the cleanliness, temperature, and humidity inside a device can be managed. 본 발명의 실시예에 따른 마스크 저장 장치는 마스크가 수용되는 복수개의 마스크 수용 용기가 배치되는 제1 영역과 상기 제1 영역의 주위에 배치되는 제2 영역을 가지는 장치 본체와, 일부분이 상기 장치 본체의 외부에 배치되는 가스 공급관과, 상기 제1 영역에 배치되어 상기 제2 영역으로부터 상기 제1 영역으로 가스를 유동시키는 팬과, 가스의 유동 경로 상 상기 팬의 전단과 후단 중 적어도 일단에 배치되는 필터와, 상기 제2 영역에 배치되어 유동하는 가스와 열교환을 하는 열교환기와, 상기 장치 본체의 외부에 배치되는 상기 가스 공급관에 설치되는 펠티어 소자와, 상기 가스의 유동 경로 상 상기 펠티어 소자의 전단에 배치되도록 상기 가스 공급관에 설치되는 제1 센서와, 상기 열교환기의 하부에 배치되도록 상기 장치 본체의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 센서 및 상기 제1 센서와 상기 제2 센서 및 상기 펠티어 소자에 연결되는 제어부를 포함한다.