METHODS FOR COATING A SUBSTRATE AND COATER

• Main Authors: MANKE GEORG, GEBELE THOMAS, YIM DONG KIL, PARK HYUN CHAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 09.02.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

3개 또는 그 초과의 회전가능 타겟들(20)을 갖는 적어도 하나의 캐소드 조립체(10)를 이용하여 기판(100)을 코팅하기 위한 방법이 제공되며, 3개 또는 그 초과의 회전가능 타겟들은 각각, 내부에 포지셔닝된 자석 조립체(25)를 포함한다. 방법은, 기판(100)으로부터 3개 또는 그 초과의 회전가능 타겟들(20) 중 각각의 회전가능 타겟의 축(21)으로 수직으로 연장되는 평면(22)에 대하여 복수의 상이한 각 포지션들로 자석 조립체들(25)을 회전시키는 단계; 및 데이터베이스 또는 메모리에 저장된 함수에 따라, 3개 또는 그 초과의 회전가능 타겟들(20)에 제공되는 전력, 자석 조립체들(25)의 체류 시간, 및 연속적으로 변화되는, 자석 조립체들(25)의 각 속도 중 적어도 하나를 변화시키는 단계를 포함한다. A method for coating a substrate (100) with at least one cathode assembly (10) having three or more rotatable targets (20), the three or more rotatable targets each comprising a magnet assembly (25) positioned there within, is provided. The method includes: rotating the magnet assemblies (25) to a plurality of different angular positions with respect to a plane (22) perpendicularly extending from the substrate (100) to an axis (21) of the respective one of the three or more rotatable targets (20); and varying at least one of: a power provided to the three or more rotatable targets (20), a staying time of the magnet assemblies (25), and an angular velocity of the magnet assemblies (25), which is varied continuously, according to a function stored in a database or a memory.