SYSTEM AND METHOD FOR BEAM POSITION VISUALIZATION

하전-입자 빔(CPB)은, CPB가 주축으로부터 변위된 기준 위치를 통과하도록 지향시키기 위해 빔 편향기에 대해 제1 빔 편향 구동을 결정함으로써 CPB 현미경의 주축에 정렬된다. 빔 편향기에는 주축을 따라 빔을 전파하기 위해 CPB 현미경의 작업 모드 동안 제2 빔 편향 구동이 제공된다. 제2 빔 편향 구동은 제1 빔 편향 구동에 기초하여 결정된다. A charged-particle beam (CPB) is aligned to a primary axis of a CPB microscope by determining a first...

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Main Authors STRAKA BRANISLAV, KRAL LUKAS, SKALICKY JAN, SMOLKA RADEK
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 08.02.2021
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:하전-입자 빔(CPB)은, CPB가 주축으로부터 변위된 기준 위치를 통과하도록 지향시키기 위해 빔 편향기에 대해 제1 빔 편향 구동을 결정함으로써 CPB 현미경의 주축에 정렬된다. 빔 편향기에는 주축을 따라 빔을 전파하기 위해 CPB 현미경의 작업 모드 동안 제2 빔 편향 구동이 제공된다. 제2 빔 편향 구동은 제1 빔 편향 구동에 기초하여 결정된다. A charged-particle beam (CPB) is aligned to a primary axis of a CPB microscope by determining a first beam deflection drive to a beam deflector for directing the CPB passing a reference location displaced from the primary axis. The beam deflector is provided with a second beam deflection drive during the working mode of the CPB microscope to propagate the beam along the primary axis. The second beam deflection drive is determined based on the first beam deflection drive.
Bibliography:Application Number: KR20200091556