CAPACITANCE TYPE PRESSURE SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING OF THE SAME

• Main Authors: JANG SUK HYUNG, HAN HYO SEUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 20.01.2021
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

According to the present invention, a capacitance type pressure sensor comprises: a flexible substrate; a first electrode and a second electrode disposed to be spaced from each other on one surface of the flexible substrate and positioned to face each other when folding the flexible substrate; a dielectric layer interposed between the first electrode and the second electrode; and a signal processing unit disposed on one surface of the flexible substrate and converting capacitance into an electric signal, wherein the capacitance is changed in accordance with a change of thickness of the dielectric layer due to external pressure while the flexible substrate is folded. 본 발명에 따른 정전용량형 압력센서는 연성기판; 상기 연성기판의 일면에 서로 이격되게 배치되고 상기 연성기판을 접으면 서로 대향하도록 위치하는 제1 전극 및 제2 전극; 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이에 개재된 유전층; 및 상기 연성기판의 일면에 배치되며, 상기 연성기판이 접힌 상태에서 외부의 압력에 의해 상기 유전층의 두께가 변함에 따라 변화하는 정전용량을 전기적 신호로 변환하는 신호처리부;를 포함할 수 있다.