박막들로의 균일한 입자 코팅을 위한 회전식 반응기

• Main Authors: NARWANKAR PRAVIN K, FRANKEL JONATHAN, YUDOVSKY JOSEPH, GANGAKHEDKAR KAUSHAL, ISHIKAWA DAVID MASAYUKI, SIVARAMAKRISHNAN VISWESWAREN, NEIKIRK COLIN C, TRUONG QUOC
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.01.2021
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; HUMAN NECESSITIES; HYGIENE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; METALLURGY; PREPARATIONS FOR MEDICAL, DENTAL, OR TOILET PURPOSES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

입자들을 코팅하기 위한 반응기는, 하나 이상의 모터, 코팅될 입자들을 보유하도록 구성되는 회전식 진공 챔버 - 회전식 진공 챔버는, 회전식 진공 챔버가 회전식 진공 챔버의 원통형 부분의 축방향 축을 중심으로 제1 방향으로 회전하도록 모터들에 결합됨 -, 회전식 진공 챔버로부터 가스를 배기하기 위한 진공 포트, 회전식 진공 챔버를 통해 연장되고 하나 이상의 모터에 결합되는 회전가능한 구동 샤프트 및 구동 샤프트로부터 반경방향으로 연장되는 적어도 하나의 패들을 포함하는 패들 조립체 - 모터들에 의한 구동 샤프트의 회전이 패들을 제2 방향으로 구동 샤프트를 중심으로 선회시키게 하도록 이루어짐 -, 및 입자들에 공정 가스를 주입하도록 구성되는 패들 상의 가스 배출구를 포함하는 화학물질 전달 시스템을 포함한다. A reactor for coating particles includes one or more motors, a rotary vacuum chamber configured to hold particles to be coated, wherein the rotary vacuum chamber is coupled to the motors, a controller configured to cause the motors to rotate the rotary vacuum chamber about an axial axis of the rotary vacuum chamber such that the particles undergo tumbling agitation, a vacuum port to exhaust gas from the rotary vacuum chamber, a paddle assembly including a rotatable drive shaft extending through the rotary vacuum chamber and coupled to the motors and at least one paddle extending radially from the drive shaft, such that rotation of the drive shaft by the motors orbits the paddle about the drive shaft in a second direction, and a chemical delivery system including a gas outlet on the paddle configured inject process gas into the particles.