삼차원 형상 검출 장치, 방법, 및 플라스마 처리 장치

• Main Authors: YAMADA KENICHIRO, NAGASAWA MITSURU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 13.01.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

분광 Scatterometry에 있어서 산란광 측정시의 시야에 복수 패턴이 포함될 경우에, 당해 시야에 있어서의 분광 반사 강도로부터 치수(삼차원 형상) 관리의 대상 외인 패턴의 영향의 제거를, 당해 치수 관리 대상 외의 패턴을 모델화하지 않고 실현한다. 대상인 샘플(103)에 광 스폿을 조사(照射)함으로써 광 스폿의 시야에 있어서의 분광 반사 강도를 측정하는 분광 반사 강도 측정부를 갖고, 측정한 분광 반사 강도에 의거하여 광 스폿의 시야 내의 삼차원 형상을 검출하는 삼차원 형상 검출 장치(100)로서, 그 외부 제어 장치(102)에, 광 스폿의 시야 내의 제1 영역에 있어서의 분광 특징값을 사전에 계산 가능한 분광 특징값 계산부와, 광 스폿의 시야 내의 제1 영역과, 광 스폿의 시야 내에 있어서의 제1 영역 이외의 제2 영역의 면적률을 추정 가능한 면적률 추정부를 갖는다. To implement, when a plurality of patterns are included in a field of view during measurement of scattered light in spectral scatterometry, removal of an influence of a pattern outside a dimension (three-dimensional shape) management target from spectral reflection intensity in the field of view without modeling the pattern outside the dimension management target. A three-dimensional shape detection apparatus 100 includes a spectral reflection intensity measurement unit configured to measure spectral reflection intensity in a field of view of a light spot by irradiating a sample 103 as a target with the light spot, and detects a three-dimensional shape in the field of view of the light spot based on the measured spectral reflection intensity. The three-dimensional shape detection apparatus further has a spectral feature value calculation unit configured to calculate a spectral feature value in a first region in the field of view of the light spot in advance in an external control apparatus 102 thereof, and an area ratio estimation unit configured to estimate an area ratio between an area of the first region in the field of view of the light spot and an area of a second region outside the first region in the field of view of the light spot.