워크 분리 장치 및 워크 분리 방법

• Main Authors: TOMIOKA KYOUHEI, OHTANI YOSHIKAZU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 12.01.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

적층체의 사이즈나 워크의 두께와 관계 없이 균일한 레이저광의 조사를 행하여 워크로부터 지지체를 용이하게 박리한다. 회로 기판을 포함하는 워크와, 레이저광을 투과하는 지지체가, 적어도 레이저광의 흡수로 박리 가능하게 변질되는 분리층을 개재하여 적층되는 적층체에 있어서, 워크를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 지지 부재로 지지된 적층체의 지지체를 투과하여 분리층을 향하여 레이저광을 조사하는 광조사부와, 지지 부재로 지지된 적층체의 지지체 및 분리층에 대한 광조사부로부터의 광조사 위치를, 적어도 광조사부로부터의 광조사 방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 구동부와, 광조사부 및 구동부를 작동 제어하는 제어부를 구비하고, 광조사부가, 레이저 발진기로 이루어지는 광원에서 발생된 스폿상의 레이저광의 광축을 움직이게 하는 레이저 스캐너를 가지며, 적층체에 대하여 소인하도록 구성되고, 광조사부에 의한 분리층의 조사면 전체가 복수의 조사 영역으로 분할되며, 제어부는, 복수의 조사 영역 중 하나의 조사 영역에 대한 광조사부로부터의 레이저광의 조사를, 적어도 레이저 스캐너의 작동에 의하여, 광조사 방향과 교차하는 두 방향으로 나열하여, 복수의 조사 영역 중 하나의 조사 영역의 전체가 다수의 레이저광으로 간극 없이 완전히 메워진 후에, 다음의 조사 영역에 대한 레이저광의 조사를 동일하게 반복하여, 최종적으로 복수의 조사 영역의 전부가 조사되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 워크 분리 장치. A workpiece-separating device includes: a holding member that detachably holds a workpiece of a laminated body in which the workpiece that includes a circuit board and a supporting body through which laser beams pass are laminated with each other via a separating layer that peelably alters due to at least absorption of the laser beams; a light irradiation part that irradiates the laser beams toward the separating layer through the supporting body of the laminated body held by the holding member; a driving part that relatively moves a light irradiation position of irradiation from the light irradiation part with respect to the supporting body and the separating layer of the laminated body held by the holding member in at least a direction crossing a light irradiation direction of irradiation from the light irradiation part; and a controlling part that operates and controls the light irradiation part and the driving part.