SMALL THERMAL MASS PRESSURIZED CHAMBER

본 명세서에 설명된 실시예들은 일반적으로 초임계 건조 프로세스들을 위한 효율적인 온도 순환을 가능하게 하는, 작은 열 질량을 포함하는 처리 챔버에 관한 것이다. 챔버는 일반적으로 바디, 라이너, 및 라이너가 바디에 비해 작은 열 질량을 보이는 것을 가능하게 하는 절연 부재를 포함한다. 챔버는 또한 챔버의 처리 용적 내에서 초임계 유체를 발생 및/또는 유지하기 위한 적합한 장치를 갖고서 구성된다. Embodiments described herein generally relate to a processing chamber incorpo...

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Main Authors VERHAVERBEKE STEVEN, DELMAS JEAN, GOUK ROMAN, CHEN HAN WEN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 10.12.2020
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:본 명세서에 설명된 실시예들은 일반적으로 초임계 건조 프로세스들을 위한 효율적인 온도 순환을 가능하게 하는, 작은 열 질량을 포함하는 처리 챔버에 관한 것이다. 챔버는 일반적으로 바디, 라이너, 및 라이너가 바디에 비해 작은 열 질량을 보이는 것을 가능하게 하는 절연 부재를 포함한다. 챔버는 또한 챔버의 처리 용적 내에서 초임계 유체를 발생 및/또는 유지하기 위한 적합한 장치를 갖고서 구성된다. Embodiments described herein generally relate to a processing chamber incorporating a small thermal mass which enable efficient temperature cycling for supercritical drying processes. The chamber generally includes a body, a liner, and an insulation element which enables the liner to exhibit a small thermal mass relative to the body. The chamber is also configured with suitable apparatus for generating and/or maintaining supercritical fluid within a processing volume of the chamber.
Bibliography:Application Number: KR20207034920