광 플럭스를 사용하여 제거 가능한 복합 구조물을 분리하는 방법

• Main Authors: BETHOUX JEAN MARC, BESNARD GUILLAUME, SINQUIN YANN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.12.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 발명은 광 플럭스에 의해 제거 가능한 복합 구조물을 분리하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 다음을 연속적으로 포함하는 제거 가능한 복합 구조물 (100)을 공급하는 단계: ㆍ 기판 (1); ㆍ 광 플럭스를 적어도 부분적으로 흡수하도록 구성된 재료로 제조된 광학 흡수층 (2)으로서, 상기 기판은 상기 광 플럭스에 대해 실질적으로 투과성인, 광학 흡수층 (2);ㆍ 상기 광학 흡수층 (2)의 재료와는 상이한 재료로 제조되는, 해리 온도보다 높은 온도의 적용에 따라 해리되도록 구성된 희생 층 (3); ㆍ 분리될 적어도 하나의 층 (4); 상기 기판 (1)을 통해 광 플럭스를 적용하는 단계로, 상기 광 플럭스는 상기 광학 흡수층을 가열하기 위해 광학 흡수층 (2)에 의해 적어도 부분적으로 흡수되는 단계; - 상기 광학 흡수층 (2)으로부터 열 전도에 의해 상기 해리 온도 이상의 온도까지 상기 희생 층 (3)을 가열하는 단계; 상기 가열의 영향 하에 상기 희생 층 (3)을 해리시키는 단계를 포함한다. A method for separating a removable composite structure using a light flux includes supplying the removable composite structure, which successively comprises: a substrate that is transparent to the light flux; an optically absorbent layer for at least partially absorbing a light flux; a sacrificial layer adapted to dissociate subject to the application of a temperature higher than a dissociation temperature and made of a material different from that of the optically absorbent layer; and at least one layer to be separated. The method further includes applying a light flux through the substrate, the light flux being at least partly absorbed by the optically absorbent layer, so as to heat the optically absorbent layer; heating the sacrificial layer by thermal conduction from the optically absorbent layer, up to a temperature that is greater than or equal to the dissociation temperature; and dissociating the sacrificial layer under the effect of the heating.