화학 종 검출을 위한 마이크로센서 및 관련 제조 프로세스

• Main Author: GHYSELEN BRUNO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.12.2020
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; PHYSICS; TESTING; TRANSPORTING

본 발명은 유체에서 이온들을 검출하기 위한 마이크로센서(100)에 관한 것으로, 마이크로센서(100)는: JPEGpct00035.jpg53 소스(51), 드레인(52), 소스(51)와 드레인(52) 사이의 활성 영역(54) 및 활성 영역(54) 위에 위치된 게이트(53)를 갖는 전계-효과 트랜지스터(5), JPEGpct00036.jpg53 활성 영역(54)이 형성되는 활성층(4), JPEGpct00037.jpg53 활성층(4) 아래에 위치된 유전체층(3), JPEGpct00038.jpg53 유전체층(3) 아래에 위치되고, 유체를 수용하기 위해 트랜지스터(5)의 게이트(53) 아래에 위치된 적어도 하나의 매립 캐비티(2)를 포함하는 지지 기판(1)을 포함한다. A microsensor for detecting ions in a fluid, comprises: a field-effect transistor having a source, a drain, an active region between the source and the drain, and a gate disposed above the active region, an active layer, in which the active region is formed, a dielectric layer positioned beneath the active layer, a support substrate disposed under the dielectric layer and comprising at least one buried cavity located plumb with the gate of the field-effect transistor in order to receive the fluid.