ELASTIC WAVE DEVICE

• Main Authors: YAMANE TAKASHI, HAYASHI YASUNOBU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.12.2020
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

Provided is an elastic wave device capable of improving a reliability of a wiring electrode in a thermal shock test. A spacer layer (5) is formed directly or indirectly on a support substrate (1), and in a planar view from a thickness direction (D1) of the support substrate (1), is formed at the outside of a piezoelectric film (2). A cover layer (6) is formed on the spacer layer (5). A through electrode (7) penetrates the spacer layer (5) and the cover layer (6) and is electrically connected to a wiring electrode (4). The wiring electrode (4) includes a first portion (41) overlapping the through electrode (7) in the planar view from the thickness direction (D1), a second portion (42) overlapping the piezoelectric film (2) in the planar view from the thickness direction (D1), and a step part (431) forming a step in the thickness direction (D1) between the first portion (41) and the second portion (42). An end part (52) at the side of a cover layer (6) of the spacer layer (5) is embedded in the cover layer (6). 열충격 시험에 대한 배선 전극의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능한 탄성파 장치를 제공한다. 스페이서층(5)은, 지지 기판(1) 상에 직접적 또는 간접적으로 형성되어 있고, 지지 기판(1)의 두께 방향(D1)으로부터의 평면에서 본 경우에 압전막(2)의 외측에 형성되어 있다. 커버층(6)은, 스페이서층(5) 상에 형성되어 있다. 관통 전극(7)은, 스페이서층(5)과 커버층(6)을 관통하고 있고, 배선 전극(4)과 전기적으로 접속되어 있다. 배선 전극(4)은, 두께 방향(D1)으로부터의 평면에서 봤을 때 관통 전극(7)에 겹쳐있는 제1 부분(41)과, 두께 방향(D1)으로부터의 평면에서 봤을 때 압전막(2)에 겹쳐있는 제2 부분(42)과, 제1 부분(41)과 제2 부분(42)의 사이에서 두께 방향(D1)에서의 단차를 형성하는 단차부(431)를 가진다. 스페이서층(5)에서의 커버층(6) 측의 단부(52)가 커버층(6)에 매립되어 있다.