스테이지 장치, 리소그래피 장치, 제어 유닛 및 방법

• Main Authors: VAN DORST RINGO PETRUS CORNELIS, KRAMER GIJS, SMEETS BENJAMIN CUNNEGONDA HENRICUS, FRENCKEN MARK JOHANNES HERMANUS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.12.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 발명은 스테이지 장치를 제공하고, 이 스테이지 장치는 대상물 지지부, 복수의 지지 부재 및 제어 유닛을 포한한다. 대상물 지지부는 대상물을 장착하기 위한 표면을 포함한다. 이 표면은 평면 내에서 연장되어 있다. 복수의 지지 부재는 대상물을 지지하기 위한 것이며, 그립퍼로부터 대상물을 받고 또한 대상물을 표면에 배치하며 그리고/또는 그 반대로도 할 수 있다. 지지 부재는 적어도 평면에 수직인 제 1 방향으로 움직일 수 있다. 제어 유닛은 대상물의 비평면 형상에 관한 형상 정보를 받고 또한 지지 부재의 위치를 제어하도록 배치된다. 제어 유닛은, 제 1 방향으로의 대상물의 공간 점유를 줄이도록 위치를 제어하여, 지지 부재에 의해 지지되고 있는 대상물을 형상 정보에 근거하여 기울이도록 배치된다. The invention provides a stage apparatus comprising an object support, a plurality of support members, a gripper and a control unit. The object support comprises a surface for mounting an object on, the surface extending in a plane. The plurality of support members are for supporting the object, and are arranged to receive the object from a gripper and to arrange the object on the surface and/or vice versa. The support members are moveable in at least a first direction which is perpendicular to the plane. The control unit is arranged to receive shape information regarding an out-of-plane-shape of the object, and is arranged to control positions of the support members. The control unit is arranged to tilt the object while supported by the support members by controlling the positions so as to reduce a space consumption of the object in the first direction, based on the shape information.