이온 소스 및 호일 라이너

• Main Authors: SARGENT JAMES A, ABESHAUS JOSHUA M, CHANEY CRAIG R, MCLAUGHLIN ADAM M
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.11.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

복수의 호일 층들을 포함하는 호일 라이너가 개시된다. 호일 층들은 각기, 서로의 상단 상에 적층되는 전기 전도성 재료일 수 있다. 인접한 호일 층들 사이의 간격은, 플라즈마의 온도가 이온 소스 챔버의 온도보다 더 뜨겁게 하는 열적 구배를 생성할 수 있다. 다른 실시예들에 있어서, 호일 층들은, 플라즈마가 이온 소스의 챔버의 온도보다 더 차갑도록 플라즈마로부터의 열을 싱크(sink)하기 위한 어셈블리일 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 간극들 또는 돌출부들은 열적 구배에 영향을 주기 위해 호일 층들 중 하나 이상 상에 배치된다. 특정 실시예들에 있어서, 호일 층들 중 하나 이상은 열적 구배에 추가로 영향을 주기 위해 절연 재료로 구성될 수 있다. 호일 라이너는 용이하게 조립되고, 이온 소스 챔버 내에 설치되며 이로부터 교체될 수 있다. A foil liner comprising a plurality of foil layers is disclosed. The foil layers may each be an electrically conductive material that are stacked on top of each other. The spacing between adjacent foil layers may create a thermal gradient such that the temperature of the plasma is hotter than the temperature of the ion source chamber. In other embodiments, the foil layers may be assembly to sink the heat from the plasma so that the plasma is cooler than the temperature of the ion source chamber. In some embodiments, gaps or protrusions are disposed on one or more of the foil layers to affect the thermal gradient. In certain embodiments, one or more of the foil layers may be constructed of an insulating material to further affect the thermal gradient. The foil liner may be easily assembled, installed and replaced from within the ion source chamber.