추출 플레이트, 추출 세트, 및 작업물 프로세싱 시스템

• Main Authors: CALKINS ADAM MORITZ, ALLEN ERNEST E. JR
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 04.11.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

추출 플레이트, 차단기, 차단기에 대한 홀딩 메커니즘을 포함하는 추출 세트가 개시된다. 추출 세트는, 세라믹 재료로 코팅된 티타늄으로 구성될 수 있는 추출 플레이트를 포함한다. 추출 플레이트는 핀들을 사용하여 이온 소스에 부착된다. 추출 플레이트는 또한, 차단기를 추출 플레이트의 내부 표면에 고정하기 위해 사용되는 융기된 아웃라인(outline)을 그것의 내부 표면 내에 포함한다. 차단기의 단부들은 추출 개구의 대향되는 측면들 상에 배치된 2개의 홀더들에 의해 고정된다. 추출 플레이트를 이온 소스에 부착하기 위해 사용되는 메커니즘이 또한 추출 플레이트의 온도 균일성을 개선한다. An extraction set including an extraction plate, a blocker and the holding mechanism for the blocker is disclosed. The extraction set includes an extraction plate that may be constructed of titanium coated with a ceramic material. The extraction plate is attached to the ion source using pins. The extraction plate also includes raised outline in its inner surface which is used to secure the blocker to the inner surface of the extraction plate. The ends of the blocker are secured by two holders disposed on opposite sides of the extraction aperture. The mechanism used for attaching the extraction plate to the ion source also improves the temperature uniformity of the extraction plate.