PATTERN DISIGN AND METHOD FOR INSPECTING THE PATTERN DISIGN

• Main Authors: KANG MIN SOO, ROH HYUN AH, BAEK JONG SOO, LEE JIN MYOUNG, LEE BO YOUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.10.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

According to one embodiment of the present disclosure, disclosed is a pattern design. The pattern design comprises a first floating conductive line, a second floating conductive line, and a grounded conductive line positioned between the first conductive line and the second floating conductive line. The first floating conductive line, the second floating conductive line, and the grounded conductive line are divided into a main pad region, a plurality of sub-regions and a plurality of sub-pad regions, and a ground region. The main pad region is located at a first end. The ground region is located at a second end. The sub-regions and the sub-pad regions are located between the main pad region and the ground region. According to the present invention, a time for inspecting a defect of a circuit to which the pattern design is applied can drastically be reduced. 본 개시의 일실시예는 패턴 디자인을 개시한다. 상기 패턴 디자인은, 제1 비접지성(floating) 도전 라인, 제2 비접지성 도전 라인, 상기 제1 비접지성 도전 라인 및 상기 제2 비접지성 도전 라인 사이에 위치하는 접지성(grounded) 도전 라인을 포함한다. 상기 제1 비접지성 도전 라인, 상기 제2 비접지성 도전 라인, 및 상기 접지성 도전 라인은, 메인 패드 영역(main pad region), 다수의 서브(sub) 영역들 및 다수의 서브 패드 영역들, 및 접지(ground) 영역으로 분리된다. 상기 메인 패드 영역은 제1 단부에 위치한다. 상기 접지 영역은 제2 단부에 위치한다. 상기 다수의 서브 영역들 및 서브 패드 영역들은 상기 메인 패드 영역 및 상기 접지 영역 사이에 위치한다.