시뮬레이션과 광학 현미경 검사를 결합하여 검사 모드 결정

결함을 검출하는 최상의 광학 검사 모드는 결함 예가 없거나 제한된 수의 결함 예만 사용할 수 있을 때 결정될 수 있다. 복수의 사이트에서 관심 결함(defect of interest)에 대해 그리고 복수의 모드에 대해 신호는 전자기 시뮬레이션을 사용하여 결정될 수 있다. 복수의 사이트 및 복수의 모드의 각 조합에서 관심 결함에 대한 신호 대 노이즈의 비율이 결정될 수 있다. 이 비율에 기초해 최적화된 신호 대 노이즈 특성을 가진 모드가 결정될 수 있다. A best optical inspection mode to detect def...

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Main Author BRAUER BJORN
Format Patent
LanguageKorean
Published 26.10.2020
Subjects
CALCULATING
COMPUTING
COUNTING
IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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Summary:결함을 검출하는 최상의 광학 검사 모드는 결함 예가 없거나 제한된 수의 결함 예만 사용할 수 있을 때 결정될 수 있다. 복수의 사이트에서 관심 결함(defect of interest)에 대해 그리고 복수의 모드에 대해 신호는 전자기 시뮬레이션을 사용하여 결정될 수 있다. 복수의 사이트 및 복수의 모드의 각 조합에서 관심 결함에 대한 신호 대 노이즈의 비율이 결정될 수 있다. 이 비율에 기초해 최적화된 신호 대 노이즈 특성을 가진 모드가 결정될 수 있다. A best optical inspection mode to detect defects can be determined when no defect examples or only a limited number of defect examples are available. A signal for a defect of interest at the plurality of sites and for the plurality of modes can be determined using electromagnetic simulation. A ratio of the signal for the defect of interest to the noise at each combination of the plurality of sites and the plurality of modes can be determined. A mode with optimized signal-to-noise characteristics can be determined based on the ratios.
Bibliography:Application Number: KR20207029195