UNIAXIAL VIBRATION APPARATUS FOR FORMING PATTERNS

패턴 형성용 단축 진동 장치가 제공된다. 상기 패턴 형성용 단축 진동 장치는 몰드를 기판에 접촉시켜 상기 기판에 패턴을 형성하는 장치로서, 상기 몰드와 결합하여 상기 몰드를 지지하는 몰드 지지부, 상기 몰드 지지부에 연결되어 상기 몰드 지지부를 단축 진동시키는 단축 진동부, 및 상기 기판을 지지하고 이송하는 기판 공급부를 포함한다....

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Bibliographic Details
Main Authors LEE NAYEONG, OK JONG G, LEE SEUNGJO, OH DONGKYO, YEON GYUBEOM, KOO SUNGKWAN, CHOI HYUNSIK
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 21.10.2020
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
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Summary:패턴 형성용 단축 진동 장치가 제공된다. 상기 패턴 형성용 단축 진동 장치는 몰드를 기판에 접촉시켜 상기 기판에 패턴을 형성하는 장치로서, 상기 몰드와 결합하여 상기 몰드를 지지하는 몰드 지지부, 상기 몰드 지지부에 연결되어 상기 몰드 지지부를 단축 진동시키는 단축 진동부, 및 상기 기판을 지지하고 이송하는 기판 공급부를 포함한다.
Bibliography:Application Number: KR20190042608