압력 센서 장치

• Main Author: SUZU SOICHIRO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 16.10.2020
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

본 발명의 압력 센서 장치는 외부 접속 단자를 가지는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 상면에 적층되고, 제1 관통 개구부 및 제2 관통 개구부가 형성된 제2 기판과, 다이어프램 구조를 가지고, 상기 다이어프램 구조에 의해 상기 제1 관통 개구부를 막도록 상기 제2 기판의 상면에 탑재된 압력 센서 소자와, 상기 압력 센서 소자를 덮도록 상기 제2 기판의 상면에 탑재되고, 상기 다이어프램 구조의 상면으로 제1 유체를 이끄는 제1 유로가 형성된 커버를 가진다. 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에는, 상기 제2 관통 개구부로부터 상기 제1 관통 개구부에 연통하여 상기 다이어프램 구조의 하면으로 제2 유체를 이끄는 제2 유로가 형성되어 있다. A pressure sensor device of the present invention includes a first board including external connection terminals, a second board stacked on an upper surface of the first board and including a first through hole and a second through hole, a pressure sensor element including a diaphragm structure and mounted on an upper surface of the second board such that the first through hole is closed by the diaphragm structure, and a cover that is mounted on the upper surface of the second board to cover the pressure sensor element and in which a first channel for guiding a first fluid to an upper surface of the diaphragm structure is formed. A second channel is formed between the first board and the second board to lead from the second through hole to the first through hole and guide a second fluid to a lower surface of the diaphragm structure.