2-차원 회절 격자

• Main Authors: BASELMANS JOHANNES JACOBUS MATHEUS, CHONG DERICK YUN CHEK, DE GROOT PIETER CRISTIAAN, CHOWDHURY YASSIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 28.09.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

투영 시스템에 대한 수차 맵을 결정하기 위한 위상-스테핑 측정 시스템을 위한 2-차원 회절 격자는 관통-개구들(through-apertures)의 정사각형 어레이가 제공되는 기판을 포함하고, 상기 회절 격자는 자기-지지형이다. 관통-개구들의 정사각형 어레이가 제공된 기판이 자기-지지형이 되게 하기 위하여, 적어도 일부 기판 재료가 각각의 관통-개구와 인접한 관통-개구들 사이에 제공된다는 것이 이해될 것이다. 투영 시스템에 대한 수차 맵을 결정하기 위한 위상-스테핑 측정 시스템을 위해 2-차원 회절 격자를 설계하는 방법은, 상기 2-차원 회절 격자에 대한 개략적인 기하학적 구조를 선택하는 단계 - 상기 개략적인 기하학적 구조는 적어도 하나의 파라미터를 가짐 -; 및 위상 스테핑 신호의 제 1 고조파에 대한 기여분을 제어하기 위하여 상기 2-차원 회절 격자에 대한 격자 효율 맵을 유발하는, 상기 적어도 하나의 파라미터에 대한 값을 선택하는 단계를 포함한다. A two-dimensional diffraction grating for a phase-stepping measurement system for determining an aberration map for a projection system comprises a substrate provided with a square array of through-apertures, wherein the diffraction grating is self-supporting. It will be appreciated that for a substrate provided with a square array of through-apertures to be self-supporting at least some substrate material is provided between each through-aperture and the adjacent through apertures. A method of designing a two-dimensional diffraction grating for a phase-stepping measurement system for determining an aberration map for a projection system comprises: selecting a general geometry for the two-dimensional diffraction grating, the general geometry having at least one parameter; and selecting values for the least one parameter that result in a grating efficiency map for the two-dimensional diffraction grating so as to control the contributions to a first harmonic of a phase stepping signal.