이온 주입 시스템

• Main Authors: CHANEY CRAIG R, MCLAUGHLIN ADAM M
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.09.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

본 개시는 반도체 제조 시스템의 컴포넌트가 해당 시스템에서 사용하도록 승인되었는지를 결정하기 위한 방법 및 장치를 설명한다. 컴포넌트에 식별 피처를 내장함으로써 해당 컴포넌트가 시스템에서 사용하기에 적격인지 여부를 제어기가 결정하는 것이 가능하다. 승인되지 않은 컴포넌트가 감지되면, 시스템은 사용자에게 경고하거나 특정 실시예에서 시스템 작동을 중단할 수 있다. 이 식별 피처는 식별 피처를 극한의 온도에 노출시키지 않고 식별 피처를 컴포넌트에 내장될 수 있도록 하는 적층 제조 공정을 사용하여 컴포넌트에 내장된다. The present disclosure describes a method and apparatus for determining whether components in a semiconductor manufacturing system are authorized for use in that system. By embedding an identification feature in the component, it is possible for a controller to determine whether that component is qualified for use in the system. Upon detection of an unauthorized component, the system may alert the user or, in certain embodiments, stop operating of the system. This identification feature is embedded in a component by using an additive manufacturing process that allows the identification feature to be embedded in the component without subjecting the identification feature to extreme temperatures.