브릿징 전방 개구부 통합 포드(FOUP)

• Main Authors: PARATHITHASAN KARRTHIK, LIM FANG JIE, THIRUNAVUKARASU SRISKANTHARAJAH, PEH ENG SHENG
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 16.09.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

브릿징 전방 개구부 통합 포드(FOUP)가 본원에 제공된다. 일부 실시예들에서, 브릿징 FOUP는, 전방 개구부를 갖는 인클로저 용적을 형성하는, 최하부 바닥, 측벽들, 천장 및 후방 벽, 측벽들에 결합되고 인클로저 용적 내로 연장되는 복수의 지지부들 - 복수의 지지부들은 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 -, 최하부 바닥에 결합된 베이스 플레이트를 포함하는 베이스 플레이트 조립체, 베이스 플레이트에 결합된 한 쌍의 L-브라켓들 - 각각의 L-브라켓들은 짧은 리프트 핀을 포함함 -, 베이스 플레이트에 결합된 긴 리프트 핀 - 짧은 리프트 핀들 및 긴 리프트 핀의 높이는 기판이 핀들 상에 배치될 때에 수평이 유지되도록 선택됨 -, 및 베이스 플레이트 조립체에 근접하여 배치되고 기판 캐리어를 지지하도록 구성된 도킹 지지부를 포함한다. A bridging front opening unified pod (FOUP) is provided herein. In some embodiments, the bridging FOUP includes a bottom floor, side walls, a ceiling and a back wall that forms an enclosure volume having a front opening, a plurality of supports coupled to the side walls and extending into the enclosure volume, wherein the plurality of supports are configured to support a substrate carrier, a base plate assembly comprising a base plate coupled to the bottom floor, a pair of L-brackets coupled to the base plate, wherein each L-brackets includes a short lift pin, a long lift pin coupled to the base plate, wherein the height of the short lift pins and the long lift pin is selected such that the substrate is kept level when disposed thereon, and a docking support disposed proximate the base plate assembly and configured to support a substrate carrier.