X선 검사 장치

• Main Authors: OGATA KIYOSHI, YOSHIHARA SEI, MATSUSHIMA NAOKI, UMEGAKI SHIRO, ASANO SHIGEMATSU, OMOTE KAZUHIKO, YAMAGUCHI RYOTARO, TAKAHASHI HIDEAKI, HIGUCHI AKIFUSA, ITO YOSHIYASU, MOTONO HIROSHI, HORADA KATSUTAKA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 24.08.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

본 발명의 X선 검사 장치는, 검사 대상이 되는 시료를 배치하는 시료 배치부(11)와, 시료 배치부(11)를 이동시키는 시료 배치부 위치결정 기구(30)와, 독립해서 선회하는 제1, 제2의 선회 부재(22, 23)를 포함하는 고니오미터(20)와, 제1의 선회 부재(22)에 탑재된 X선 조사 유닛(40)과, 제2의 선회 부재(23)에 탑재된 이차원 X선 검출기(50)를 구비하고 있다. 그리고, 시료 배치부 위치결정 기구(30)는, 측정점 P에서 θs축 및 θd축과 직교하고 또한 수평 방향으로 연장하는 χ축을 중심으로, 시료 배치부(11) 및 φ축을 회전시키는 χ회전 기구(35)를 포함하고 있다. An X-ray inspection device of the present invention includes a sample placement unit 11 for placing a sample as an inspection target therein, a sample placement unit positioning mechanism 30 for moving the sample placement unit 11, a goniometer 20 including first and second rotation members 22, 23 that rotate independently of each other, an X-ray irradiation unit 40 installed on the first rotation member 22, and a two-dimensional X-ray detector 50 installed on the second rotation member 23. The sample placement unit positioning mechanism 30 includes a χ rotation mechanism 35 for rotating the sample placement unit 11 and a φ-axis about a χ-axis that is orthogonal to a θs-axis and a θd-axis at a measurement point P and extends horizontally.