AN APPARATUS FOR LASER MACHINING AND METHEOD FOR COMPENSATING ERROR OF THE SAME

• Main Authors: KIM SEOKHWAN, JUNG SANGHYUN, JEONG ILYOUNG, HAN JONGKIL, JUNG SEUNGHWAN, KIM JAEIL, KIM WOODONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 03.08.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a laser processing device for correcting a position of a laser that is distorted by the aberration of a lens and irradiated to an object. According to the present invention, the laser processing device comprises: a stage for supporting an object to be processed; a control part for generating an error correction table; a motor driving part for controlling the movement of the stage; and an error correction unit for forming a table for correcting an error, wherein the error correction unit includes a grid plate placed on the stage, an imaging part for imaging the grid plate, and a lighting part for providing light to the grid plate. The motor driving part outputs a position synchronization signal to the imaging part according to the position of the stage, and the imaging part receives the position synchronization signal from the motor driving part to image the grid plate. 본 발명에 따른 레이저 가공 장치는, 가공 대상물을 지지하는 스테이지, 오차 보정 테이블을 생성하는 제어부, 스테이지의 이동을 제어하는 모터 구동부 및 오차를 보정하기 위한 테이블을 형성하는 오차 보정 유닛을 포함하고, 오차 보정 유닛은, 스테이지 상에 배치된 그리드 플레이트, 그리드 플레이트를 촬상하는 촬상부 및 그리드 플레이트에 광을 제공하는 조명부를 포함하고, 모터 구동부는 스테이지의 위치에 따라 위치 동기 신호를 촬상부로 출력하고, 촬상부는 모터 구동부로부터 위치 동기 신호를 입력 받아 그리드 플레이트를 촬상한다.