부품의 광 유도 선택적 전달

• Main Authors: SMITS EDSGER CONSTANT PIETER, ARUTINOV GARI, STOUTE RONALD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 30.07.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; PRINTED CIRCUITS; SEMICONDUCTOR DEVICES

부품의 광 유도 선택적 전달을 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 복수 개의 부품들(11,12)을 갖는 도너 기판(10)은 각각 레이아웃(A,B)에 따라 배치되는 서로 다른 서브셋에 분할된다. 타겟 기판(20)은 리세스(21) 및 돌출부(25)를 포함한다. 도너 기판 및 타겟 기판(10,20)이 정렬되어, 부품들(11)의 제 1 서브셋이 상기 타겟 기판(20) 내의 대응하는 리세스(21) 위에 매달리고, 부품들(12)의 제 2 서브셋이 타겟 기판(20)의 대응하는 돌출부(25)에 접촉한다. 도너 기판(10)에 광(L)이 조사되어 부품들(11)의 제 1 서브셋을 대응하는 리세스(21)에 전달하고, 부품들(12)의 제 2 서브셋은 도너 기판(10)에 부착된 채 잔류한다. A method and apparatus for light induced selective transfer of components. A donor substrate (10) with a plurality of components (11,12) divided in different subsets arranged according to respective layouts (A,B). A target substrate (20) comprises recesses (21) and protrusions (25). The donor and target substrates (10,20) are aligned such that a first subset of components (11) is suspended over corresponding recesses (21) in the target substrate (20) and a second subset of components (12) is in contact with corresponding protrusions (25) of the target substrate (20). Light (L) is projected onto the donor substrate (10) to transfer the first subset of components (11) across and into the corresponding recesses (21) while the second subset of components (12) remains attached to the donor substrate (10).