PLATING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING METAL FILM USING THE SAME

According to the present invention, a plating apparatus forms a metal thin film by using a liquid, gel or solid type plating solution, thereby improving productivity and reliability of a semiconductor panel or a printed circuit board. 본 발명의 기술적 사상에 따른 도금 장치는, 액상, 젤 타입, 또는 고체 타입의 도금 솔루션을 사용하여 금속 박막을...

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Main Author LEE JUNG WON
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 24.07.2020
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Summary:According to the present invention, a plating apparatus forms a metal thin film by using a liquid, gel or solid type plating solution, thereby improving productivity and reliability of a semiconductor panel or a printed circuit board. 본 발명의 기술적 사상에 따른 도금 장치는, 액상, 젤 타입, 또는 고체 타입의 도금 솔루션을 사용하여 금속 박막을 형성함으로써, 반도체 패널 또는 인쇄회로기판의 생산성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20190005859