13 13 PERIODIC TABLE GROUP 13 METAL NITRIDE CRYSTALS AND METHOD FOR MANUFACTURING PERIODIC TABLE GROUP 13 METAL NITRIDE CRYSTALS

비극성면 또는 반극성면을 주면으로서 성장한 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정은, 적층 결함이 많이 존재한다. 이와 같은 적층 결함의 발생을 억제한 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정을 제공하는 것을 과제로 한다. 결정의 (100) 면 X 선 역격자 매핑에 의해 얻어지는 등강도선도로부터 도출되는 최대 강도를 포함하는 Qx 방향의 강도 프로파일에 있어서, 피크 강도치에 대해 1/300 강도치를 나타내는 Qx 폭이 6 × 10rlu 이하인 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정에 의해 과제를 해결한다. A periodic table...

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Main Authors KUBO SHUICHI, IKEDA HIROTAKA, FUJITO KENJI, NAGAO SATORU, ENATSU YUUKI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 07.07.2020
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