PROCESS MONITORING

• Main Authors: SHEMESH DROR, BULLOCK EUGENE T, BOEHM ADI, SINGH GURJEET
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.06.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

The present invention relates to a method for determining a defective material element. The method comprises the following steps of: (a) obtaining an electromagnetic emission spectrum of a part of defects by a charged particle beam system and by applying a spectroscopic process; (b) obtaining, by the charged particle beam system, a backscattered electron (BSE) image of an area containing the defects; and (c) determining a defective material element, wherein the step of determining the defective material element comprises determining whether there is ambiguity in the electromagnetic emission spectrum, and when it is determined that there is the ambiguity, resolving the ambiguity based on the BSE image. 결함 물질 원소를 결정하기 위한 방법으로서, 방법은, (a) 하전 입자 빔 시스템에 의해 그리고 분광법 프로세스를 적용하는 것에 의해, 결함의 일부의 전자기 방출 스펙트럼을 취득하는 단계; (b) 하전 입자 빔 시스템에 의해, 결함을 포함하는 영역의 후방산란된 전자(BSE) 이미지를 취득하는 단계; 및 (c) 결함 물질 원소를 결정하는 단계를 포함한다. 결함 물질 원소의 결정은: 전자기 방출 스펙트럼에 모호성이 존재하는지 여부를 결정하고 모호성이 존재하는 것으로 결정되는 경우, BSE 이미지에 기초하여 모호성을 해결하는 것을 포함한다.